光束横向位移模块Haas-Shift的功能是将光束偏移光轴中心,深槽或者深孔加工过程中,偏移后的光束不会被样品切割边沿遮挡,从而调整激光切口的垂直度。光束横向位移模块需要配合扫描振镜、双光楔、或者道威棱镜等扫描装置协同工作,实现切口锥度的控制。
光束横向位移模块.pdf