激光微纳加工系统SabRay系列属于超精密微纳加工系统，可选配不同品牌、不同型号的超快激光器，及微纳级精度电控位移平台，和多种形式的激光聚焦头。系统采用花岗石基座和龙门架，结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。系统包含封闭式光路传输、调节和成像系统，包含光束整形、功率监测、同轴照明和视觉模块等。

激光微纳加工系统SabRay系列属于桌面式小型激光加工系统，无论是高校或者科研院所，激光微纳加工系统SabRay系列都可以为其提供最优解决方案和应用。例如：飞秒激光精密刻蚀、微纳结构制备、光子器件直写、表面功能化改性、极端纳米加工、触摸屏和ITO切割以及金属陶瓷等材料的制孔和切割、在硅基表面和内部加工微纳波导结构，实现新型光电子器件的前沿基础技术研究。

SabRay激光微纳加工系统产品手册.pdf